我国半导体生产设备制造业正处于快速增长阶段，特别是成都入江富乐德精密机械有限公司（简称“成都入江富乐德”），凭借卓越的技术和产品，在成都半导体产业中脱颖而出。
今年3月，成都入江富乐德在成都市龙泉驿区正式开业，专注于波纹管和真空阀门的制造。近期，记者走进这家企业，深入了解了其在半导体生产设备阀门制造领域的创新成就。
在成都入江富乐德的生产现场，阀门设计课副课长于洲向记者展示了公司的阀门产品，并详细介绍了其技术优势。他指出，在半导体制造过程中，阀门发挥着关键作用，负责隔离保护、流量压力控制、传输定位以及确保系统的安全可靠。
然而，国内真空阀门制造面临的一大挑战是微小颗粒的控制。阀门操作过程中产生的颗粒，对半导体产品质量影响极大。于洲自豪地说，成都入江富乐德的阀门具有低振动、低颗粒产生和长寿命的特点，即使连续开合6万次，颗粒数量也仅为10颗。
为确保产品质量，成都入江富乐德对阀门进行了严苛的测试。针对12寸小型半导体阀门，公司进行了包括氦检测试、颗粒测试、振动测试和寿命测试等多项测试。目前，寿命测试已进行约180万次动作循环，每20万次进行一次全面性能测试。阀门设计寿命为200万次，但公司设定了更高的测试目标，即达到300万次，以确保寿命安全系数不低于1.5。
作为国产半导体生产设备阀门制造的新兴力量，成都入江富乐德不仅技术创新，还重视本土化生产。据悉，公司小型阀门生产集中在成都，大型阀门和波纹管生产在内江，投资超3亿元，占地9000平方米的厂房已投入使用。公司客户包括北方华创、中微半导等知名企业。
据天眼查APP显示，成都入江富乐德成立于2023年，是安徽入江富乐德精密机械有限公司的全资子公司。股权结构显示，入江工研株式会社和富乐德分别持有安徽入江富乐德51%和49%的股份。富乐德是一家在泛半导体领域提供设备精密洗净服务的知名企业，于2022年12月登陆创业板，致力于为半导体和显示面板生产商提供一站式设备精密洗净服务。
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